旋片式真空泵,作为真空泵的一种可分为单级旋片式真空泵和双级旋片式真空泵。区别在于双级旋片式真空泵是用两个工作室组成,两室是前后串联的,同向等速旋转。单级旋片式真空泵主要是由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子(转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小)和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片,当转子旋转时,始终沿定子的内壁滑动。
双级旋片式真空泵在工作时候,两个工作室同向等速旋转时候,其中一个工作室是低真空级,另外一个是高真空级。我们定义低真空级的工作室为A室,高真空级为B室。被抽气体由进气口进入B室,当进入的气体压力较高时,气体经B室压缩,压强急速增大,被压缩的气体不仅从高级排气阀排出,而且经过中壁通道,进入A室,在A室被压缩,从低级排气阀排出;当进入B室的气体压力较低时,虽经B室的压缩,也推不开高级排气阀排出,气体全部经中壁通道进入A室,经A室的继续压缩,由低级排气阀排出,因此双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。